KIKI SEISAKUSYO燃燒式Local Scrubber尾氣處理設備
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人氣：7848 發布時間：2009-01-15 16:14 關鍵詞：其它 產品型號： 應用領域：大氣控制 產品價格：面議 想了解更多產品詳情，請 |
新一代燃燒式Local Scrubber尾氣處理設備
新型薄膜太陽能光伏、液晶TFT-LCD薄膜CVD制程專用燃燒式尾氣處理設備。
NITSU新型燃燒式薄膜CVD制程尾氣處理設備, 為日本『木麒制作所』KIKI SEISAKUSYO累積多年經驗及制作研發上的深厚基礎上, 參酌最新世界安全規范, 評鑒過往美日業界同類型機發展的得失后, 開發出近年來最適用于非晶硅薄膜太陽能電池、新世代液晶顯示器等PECVD制程尾氣處理的新型燃燒式處理設備。
NITSU燃燒式尾氣處理設備的用途
可處理氣體種類包括非晶硅薄膜太陽能電池、新世代液晶顯示器等PECVD制程中產生的廢氣。
NITSU燃燒式尾氣處理設備的主要特點
1. 全機整體新思維安全設計, 高安全標準自我診斷異常及意外預防應對規格, 同時通過了德國TUV最新SEMI S2,
SEMI S8, EN 60204-1: 2006認證。
2．獨特渦流火焰燃燒器, 擁有處理量特大﹑處理效率優異﹑及長時間運轉之最高穩定信賴性。
3．CH4﹑C3H8雙燃料機型, 具燃料節約控制設計, 符合經濟節能與環保要求。
4．良好機械架構設計與人機界面程序, 操作容易上手、停機保養頻率低、保養簡單快速、零料件經久耐用等眾多優點.
5．燃燒反應室可定時自動清潔, 長時間運轉效率穩定, 特別適合應用于非晶硅薄膜太陽能電池、大尺寸液晶生產等之高SiH4、 PH3及NF3、SF6氣體使用, 并大量產出SiO2、P2O5易衍生粉塵堆積及大量高濃度HF酸腐蝕氣體的PECVD制程尾氣處理。
NITSU優質的客戶服務
日本木麒制作所提供薄膜太陽能電池及新世代液晶PECVD的尾氣處理系統, 主要包括有:
(1) 榮獲德國TUV 認證的新型燃燒式CVD尾氣處理設備 NITSU
(2) 集中處理型彈匣式過濾材粉塵集塵機Cartridge Filter type Particle Collector
(3) 集中處理型酸排氣水洗處理設備Central Wet Scrubber
上海懷利環保設備有限公司榮獲 Kiki 日本木麒原廠技術認證授權, 專注服務大中華區所有薄膜太陽能電池及大尺寸液晶TFT-LCD制造廠客戶, 提供系統設備自規劃、選機、承包施工、安裝試車及全年保養維修、充裕零料件完整庫存的全面性整體專業服務。
