幾種芯片廢水處理技術的探討
更新時間：2012-04-11 17:22
來源：上海環境科學
作者:
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摘要：國內芯片制造業的飛速發展，芯片生產過程中產生的廢水也是各企業所面臨的一個問題。文章結合工程實例，簡要介紹了芯片廢水中污染物的分類及來源，著重探討了含氨廢水、含氟廢水、研磨廢水和酸堿廢的處理工藝，以期為芯片廢水處理的同仁提供參考。
關鍵詞：芯片廢水，處理工藝
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